松嶋 朝明 
(元京都大学 ナノテクノロジーハブ拠点 研究員)

【専門】微細加工、MEMS、レーザ加工、成膜、X線回析、SEM、熱処理

企業にて約30年間、希土類磁石、微細加工を用いた新光源、レーザ加工技術、MEMSデバイス開発、強誘電体薄膜を用いた微細加工を用いたセンサーや共振デバイス開発等に従事してきました。
2012年から京都大学・ナノテクノロジー拠点にて、微細加工に関する装置管理や技術相談および技術指導を行ってきました。

技術詳細

装置名メーカー型番使用歴(年)対応可能な内容
多元スパッタ装置キャノンアネルバEB-110013Pb(Zr,Ti)O3専用 4元ターゲット:PZT,PLT,Pt,Ti 4,6インチSiウェハ 小片も可 基板温度800℃設定可
Ar/O2雰囲気ガス 2元ターゲット同時成膜可能 
多元スパッタ装置キャノンアネルバEB-110013PZT以外専用 3元ターゲット:KNN、Au等、ターゲット持ち込み可能  4,6インチSiウェハ 小片も可
基板温度800℃設定可 Ar/O2雰囲気ガス、2元ターゲット同時成膜可能
真空蒸着装置 サンバックRD-140013抵抗加熱、3電極、最高真空度:7×10-5Pa 基板加熱温度:最高350℃ 4,6インチSiウェハ 小片も可蒸着材料により装置使い分け
レーザアニール装置AOVLAEX-100013KrFレーザ(波長:248nm) 結像マスク利用 最大95mJ/cm2 アニール処理 
XYZ可動ステージ 最大67mm 
高性能マッフル炉アズワンHPM-2N8温度設定範囲:100℃~1280℃ 雰囲気:大気 炉内寸法:260W,260D,260H 揮発性高い材料は不可
超高分解電界放出形走査顕微鏡日立ハイテクノロジーズSU-800013分解能:1.0nm@15kV,1.4nm@1kV 試料サイズ:MAX100mmΦ、高さ:30mm以下
X線回折装置リガクSmartLab-9K13出力最大:40kV,200mA 4,6,8インチSiウェハ、小片対応可 4インチの場合エリアマップ測定可
金属 単体、合金
半導体 Si
ソフト・ナノマテリアル 多光子吸収材料のレーザ加工(エキシマレーザ、フェムト秒レーザ)
無機材料 強誘電体薄膜、各種酸化膜

利用者からの技術相談およびナノハブ技術職の指導

新規装置、設備導入、廃棄決裁資料作成

技術相談
装置操作・補助
実験支援・補助
書類添削

2012~2023 京都大学 ナノテクノロジーハブ拠点 研究員 
文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ事業 エキスパート
1983~2012 パナソニック(株)参事
1979~1983 山口大学理学部物理教室 助手

業績一覧

MATE 2005 「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム 技術開発論文賞   2010年

Material Research Society2022
Journal of Microelectromechanical Systems2012
APPLIED PHYSICS LETTERS 2009
Physica C2009
電子顕微鏡1990
Japan Applied Physics 1995
Journal of the Physical Society Japan1989
その他20件 
2010 IEEE International Frequency Control Symposium
(Los Angeles)
2010
European Material Research Society
(Strasbourg)
2010
20th International Symposium on Integrated Ferroelectrics
(Singapore) 
2009
SPIE Photonics WEST 2007  Lasers and Applications in Science and Engineering
(San Jose USA)
2008
CREST 量子相関光ビームナノ加工 
代表:三澤弘明 担当:ナノ加工のための材料開発
2002-2007

約250件

圧電MEMS研究会幹事 2014-2023
International Workshop on Piezo MEMS 幹事 2011.2014
大阪大学基礎工学部、基礎工学研究科 評価委員 2014-2015
米国 SPIE Photonics West  プログラム委員 2008-2011
光産業技術振興協会 多元技術融合光プロセス研究会 2008-2011
光産業技術振興協会 フェムト秒超加工研究会 2005-2008
光産業技術振興協会 平成16年度 第4回フェムト秒超加工技術フィージビリティ調査(光技術応用システム) 2005-2006
日本電子工業振興協会 微小電気機械センサシステム調査委員会 1999-2000
日本電子工業振興協会 マイクロセンサフュージョン調査委員会 1997-1998

大阪大学・基礎工学部「電子物理科学序説」 2010~2015

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