柳原 利成 （元日本電子株式会社 主幹研究員）
【専門】 JEOL/SEM/オペレーター/試料前処理可
日本電子において、37年間主にSEMの製造、調整、測定手法の開発（SEMアプリケーション）などに携わっていました。また、光学機器（FT-IR)の組み立て、光軸調整、超高真空装置(オージェ分光）の組み立て調整経験もあります。SEMに関しては装置の組み立てから修理まで幅広く経験があり、分析だけにとどまらない技術支援が可能です。また試料の観察前処理については金属、半導体、高分子、無機、生物生体材料までを網羅し、特に技術が必要な断面の精密研磨などのノウハウを有し多くの前処理の使用経験が有ります。また生物系試料では固定、脱水、染色、乾燥、導電性処理など全ての工程の経験が有り、そのサンプルに適した方法での試料調整が行えます。EDSやWDS、EBSD、CLの経験も長く、総合的なSEMに関する指導、支援を行う事ができます。
技術詳細
SEM,EDS,SEM試料作製, EBSD,CL,FE-SEM,OIM,真空蒸着,コーテイング,オージェ電子分光,FT-IR, ラマン分光,サーモグラフィ, WDS,EDX,WDEX
| 装置保守作業 | SEM電磁銃交換(タングステンフィラメント、LaB6エミッタ―） |
| SEM チラー水交換 | |
| SEMロータリーポンプオイル交換、DP分解保守 | |
| 液体窒素液体ヘリウム充填 | |
| 軸調整・ビーム調整 | |
| SEMクリーニング | |
| SEM定期メンテナンス | |
| SEM新規導入時選定 |